پایان نامه کارشناسی ارشد طراحي، شبيه‌سازي (و ساخت) ميکروحسگر شتاب (MEMS)

پایان نامه کارشناسی ارشد طراحي، شبيه‌سازي (و ساخت) ميکروحسگر شتاب (MEMS)

پایان نامه کارشناسی ارشد طراحي، شبيه‌سازي (و ساخت) ميکروحسگر شتاب (MEMS)

بسياري از پديده هاي مکانيکي بصورت مستقيم و يا غير مستقيم به شتاب وابسته هستند، در نتيجه توانايي اندازه گيري شتاب با استفاد از يک سنسور مي تواند در تحليل مکانيکي سيستم مفيد باشد. ميکروماشين ها مي توانند با تبديل يک سيگنال مکانيکي (جابجايي ناشي از شتاب) به سيگنال الکتريکي نقش …